سیستم آنالیز سیلیکون کریوژنیک CryoSAS یک سیستم اختصاصی برای آنالیز ناخالصی سیلیسیم در دمای پایین (<15K) می باشد. این سیستم برای کار در محیط های صنعتی برنامه ریزی شده است.
اسپکتروفتومتر FT-IR مدل CryoSAS ترکیبی از اسپکتروفتومتر FT-IR با کارایی بالا Bruker با تکنولوژی Cryo خنک کننده می باشد، که هیچ هلیم مایعی نیاز ندارد. تمام اجزای اسپکتروسکوپی FT-IR مدل CryoSAS با پیشرفته ترین تکنولوژی ها، برای انجام یک تحلیل دشوار در محیط تولید سیلیکون طراحی شده اند. اسپکتروفتومتر FT-IR مدل CryoSAS می تواند در سطح بالایی از اتوماسیون، از جمله گزارش دقیق نتایج آنالیز عمل کند.
ویژگی های اسپکتروفتومتر FTIR مدل CryoSAS
حساسیت بالا
اسپکتروفتومتر FT-IR مدل CryoSAS با توجه به استاندارد ASTM/SEMI MF1630 ، ناخالصی های کم عمق به عنوان مثال بور، فسفر و غیره را به سطح پایین ppta تجزیه می کند. علاوه بر این، به طور همزمان آنالیز کربن و اکسیژن را به سطح ppba پایین با توجه به استاندارد ASTM/SEMI MF1391 انجام می دهد.
سیستم خنک کننده cryogenic با چرخه بسته
سیستم خنک کننده محفظه آشکارساز و نمونه cryogenic با چرخه بسته اسپکتروفتومتر FTIR مدل CryoSAS در مقایسه با سیستم خنک کننده هلیوم مایع، می تواند هزینه عملیات را در هر سال به اندازه 50000 دلار کاهش دهد.
طراحی محفظه نمونه فولاد ضد زنگ
دسترسی آسان به نمونه
اسپکتروفتومتر FTIR مدل CryoSAS با یک محفظه نمونه با اپتیک ثابت و سر نمونه اتوماتیک طراحی شده است. قطر داخلی محفظه نمونه اجازه می دهد تا دسترسی آسان به نگهدارنده نمونه صورت پذیرد.
پمپ فور خشک و پمپ توربو
عملیات ساده و کارآمد سیستم خلاء
در اسپکتروسکوپی FTIR مدل CryoSAS تخلیه سریع و قابل اعتماد از طریق پمپ توربودرگ و پمپ فور خشک انجام می شود.
موتور قوی و دقیق با 9 نگهدارنده موقعیت نمونه
محل محکم برای نگهدارنده نمونه در اسپکتروفتومتر FT-IR مدل CryoSAS اجازه می دهد تا آنالیز چند نمونه انجام شود. نمونه ها براحتی نصب و حذف می شوند و نگهدارنده نمونه براحتی متصل می شود. نگهدارنده نمونه با طراحی OFHC و پوشش طلا، دمای یکنواخت را تضمین می کند.
راحتی در استفاده
اسپکتروفتومتر FT-IR مدل CryoSAS برای عملیات در محیط صنعتی بهینه سازی شده است. تمام دستگاه های خلاء و تبرید توسط یک PLC کنترل می شود. خنک کردن و شروع اندازه گیری با لمس یک دکمه ساده صورت می پذیرد. کاربری اسپکتروفتومتر FTIR مدل CryoSAS بقدری ساده است که نیازی نیست کاربر یک متخصص طیف سنجی یا متخصص خلاء باشد. نرم افزار اختصاصی CryoSAS برای برآوردن نیازهای کنترل کیفیت صنعتی طراحی شده است.
استفاده از طیف سنج مادون قرمز FTIR مدل CryoSAS آسان است و از طریق صفحه لمسی می توان از آن استفاده کرد. کاربر به سادگی باید روش آنالیز دلخواه را انتخاب کند، اطلاعات نمونه را وارد کند و دکمه شروع را فشار دهد. اسپکتروفتومتر FT-IR مدل CryoSAS به طور خودکار نمونه ها را خنک می کند، اندازه گیری مادون قرمز را شروع می کند، نتایج را ارزیابی می کند و یک گزارش جهت آنالیز ایجاد می کند.
مشخصات اسپکتروفتومتر FTIR مدل CryoSAS
- محدوده طیفی: 1500cm-1تا 280cm-1
برای تشخیص گروه سوم و پنجم و ناخالصی سطحی در تک کریستال سیلسیوم با توجه به ASTM/SEMI MF1630 برای نمونه هایی با ضخامت تقریبی 3 میلی متر، محدودیت تشخیص زیر می تواند باشد:
10pptaفسفر
30pptaبور
- کربن جایگزین طبق ASTM/SEMI
این روش مستلزم یک نمونه مرجع FZ بدون کربن با ضخامت و خواص سطحی نزدیک به خواص با نمونه است. برای یک نمونه غلطکی با ضخامت حدود 3mm ، کربن با غلظتی حدود 20ppba را می توان شناسایی کرد.