میکروسکوپ الکترونی روبشی (FEG-SEM) مدل Quanta 600 یک ابزار کارآمد و با کارایی بالا با سه حالت (خلاء بالا، خلاء کم و ESEM) است تا بتواند طیف وسیعی از نمونه های هر سیستم SEM را جایگزین کند. سیستم میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) مدل Quanta 600 با سیستم های آنالیتیکال، اسپکترومتر پراکنده کننده انرژی و تفرق الکترون بازگشتی مجهز شده است. میکروسکوپ الکترونی روبشی (FEG-SEM) مدل Quanta 600 دارای یک محفظه بزرگ است و تجزیه و تحلیل و حرکت نمونه های بزرگ را با یک نگهدارنده موتوری امکان پذیر می سازد.
ویژگی های میکروسکوپ الکترونی روبشی ( SEM ) مدل Quanta 600
رزولوشن
1.2 nm @ 30 kV (SE)
2.5 nm @ 30kV (BSE)
3.0 nm @ 1kV (SE)
1.5 nm @ 30 kV (SE)
2.5 nm @ 30 kV (BSE)
3.0 nm @ 3 kV (SE)
7x (at longest working distance) to >2,000,000x in single quadrant view of the Quanta user interface on a 19” LCD monitor
Everhart-Thornley
back-scattered electron