دستگاه میکروسکوپ الکترونی روبشی با رزولویشین بالا ( / FESEM SEM ) سری Regulus
دستگاه میکروسکوپ الکترونی روبشی Scanning Electron Microscope ساخت شرکتHITACHI ابزار کاملی است که از آن جهت بررسی مورفولوژی و توپولوژی مواد، قطعات بالک، شیشه های لایه نازک و نانو ذرات در مراکز تحقیقاتی و صنعتی استفاده میشود. دستگاه میکروسکوپ الکترونی روبشی ( Scanning Electron Microscope ) سری Regulusساخت شرکتHITACHI با منبع Field Emission سرد و اندازه کوچک، با قابلیت تصویربرداری با رزولویشن بالا و کارایی بالا را دارد. دستگاه میکروسکوپ الکترونی روبشی ( Field Emission Scanning Electron Microscope ) ) سری Regulus ساخت شرکتHITACHI دارای چهار مدل Regulus8220، Regulus8230 و Regulus8240، Regulus8100 بوده که همگی اینها از پلت فرم سری SU8200 توسعه یافته اند.
دستگاه میکروسکوپ الکترونی روبشی ( Scanning Electron Microscope ) سری Regulus دارای رزولویشن 0.9 نانومتر برای مدل های Regulus8220 / 8230/8240 و 1.1 نانومتر برای مدل Regulus8100 است که بهبود تقریبا 20 درصدی در رزولویشن نسبت به مدل های قبلی داراست.
دستگاه میکروسکوپ الکترونی روبشی ( FESEM ) سری Regulus با تکنولوژی جدید تفنگ CFE، قابلیت تصویربرداری با رزولویشن بالا و تجزیه و تحلیل عناصر با کیفیت بالا را فراهم می کند و می تواند وضوح تصاویر را تا 2 میلیون بار افزایش دهد. دستگاه آنالیز میکروسکوپ الکترونی روبشی ( FE-SEM ) سری Regulus یک دستگاه مطمئن در هر آزمایشگاهی برای انجام آنالیز است.
تمامی این ویژگی ها به همراه خدمات دستگاه میکروسکوپ الکترونی روبشی ( FESEM / SEM ) سری Regulus که به واسطه ی شرکت HITACHI در سراسر دنیا انجام می گیرد، خرید دستگاه میکروسکوپ الکترونی روبشی ( FESEM ) سری Regulus ، از این شرکت را به گزینه ای بی رقیب تبدیل کرده است. برای اطلاع از قیمت دستگاه میکروسکوپ الکترونی روبشی (FE-SEM ) سری Regulus با شماره درج شده در سایت تماس حاصل فرمایید.
تصاویر میکروسکوپی حاصل از دستگاه آنالیز میکروسکوپ الکترونی روبشی ( FESEM ) سری Regulus
ویژگی های دستگاه میکروسکوپ الکترونی روبشی با رزولویشین بالاFESEM SEM سری Regulus
- دستگاه میکروسکوپ الکترونی روبشی ( Scanning Electron Microscope ) سری Regulus دارای رزولویشن 0.9 نانومتر برای مدل های Regulus8220 / 8230/8240 و 1.1 نانومتر در 1 کیلو ولت برای مدل Regulus8100 است که بهبود تقریبا 20 درصدی در رزولویشن نسبت به مدل های قبلی داراست.
- دستگاه میکروسکوپ الکترونی روبشی ( FESEM / SEM ) سری Regulus به همراه CFE GUN قابلیت تصویربرداری در رزولویشن بالا و ولتاژپایین و در ابعاد کوچک را فراهم می کند.
- دستگاه میکروسکوپ الکترونی روبشی ( FESEM / SEM ) سری Regulus دارای عملکرد عالی در کیلوولت های پایین بوده است.
- دستگاه میکروسکوپ الکترونی روبشی ( FESEM ) سری Regulus با تکنولوژی جدید تفنگ CFE، قابلیت تصویربرداری با رزولویشن بالا و تجزیه و تحلیل عناصر با کیفیت بالا را فراهم می کند و می تواند وضوح تصاویر را تا 2 میلیون بار افزایش دهد.
مشخصات فنی دستگاه میکروسکوپ الکترونی روبشی با رزولویشین بالا (FESEM / SEM )
|
Regulus 8100
|
Regulus 8220
|
Regulus 8230
|
Regulus 8240
|
مدل دستگاه میکروسکوپ الکترونی روبشی
مشخصات فنی
|
|
Secondary Electron Resolution
|
0.8 nm (Vacc: 15 kV)
1.1 nm (Landing voltage: 1 kV)*3
|
0.7 nm (Vacc: 15 kV)
0.9 nm (Landing voltage: 1 kV)*3
|
|
Accelerating voltage
|
0.5~30 kV
|
0.5~30 kV
|
|
Landing voltage*3
|
0.1~2 kV
|
0.01~20 kV
|
|
Mag.
|
20~1,000,000 ×*4
|
20~2,000,000 ×*4
|
|
Specimen stage
|
Stage control
|
3-axis motor drive*5
|
5-axis motor drive
|
|
Movable range
|
X
|
0~50 mm
|
0~50 mm
|
0~110 mm
|
0~110 mm
|
|
Y
|
0~50 mm
|
0~50 mm
|
0~110 mm
|
0~80 mm
|
|
R
|
360°
|
|
T
|
-5~70°
|
|
Z
|
1.5~30 mm
|
1.5~40 mm
|
|
Stage repeatability
|
-
|
-
|
-
|
Less than ±0.5 µm
|
*3 Observation in beam deceleration mode
*4 Magnification specified based on a display size of 127 mm × 95 mm
*5 The 5-axis motor drive is an option for the Regulus8100