با توجه به نیاز به تحقیق در مورد انواع مختلف مواد و مشخص ساختن ساختار و ترکیب آن ها، میکروسکوپ الکترونی روبشی مدل Quanta محصول شرکت FEI انعطاف پذیری و قابلیت رسیدگی به چالش های گسترده در مورد نیازهای تحقیقاتی را ارائه می دهد.
این تحقیق امروزه فراتر از فلزات ساده و نمونه های پوشش داده شده است و میکروسکوپ الکترون روبشی سری Quanta می تواند از این چالش ها برای تولید تصاویر با کیفیت بالا و تجزیه و تحلیل استفاده کند. مجموعه محصولات میکروسکوپ الکترونی روبشی Quanta 250 از FEI پیشرفته و انعطاف پذیر برای برنامه های کاربردی در حال حاضر و تحقیقات آینده است.
| میکروسکوپ الکترون روبشی SEMدارای سه حالت تصویربرداری - خلاء بالا، خلاء کم و ESEM - از طیف وسیعی از نمونه های هر سیستم SEM که قادر به توصیف نمونه های متداول از فلزات، سطوح شکست و سطوح پولیش شده تا مواد نرم و غیر رسانایی می باشد. تصویربرداری از سطح و ترکیب با استفاده از میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل Quanta 650 می تواند با لوازم جانبی برای تعیین خواص مواد و ترکیب عنصر صورت پذیرد. میکروسکوپ الکترونی روبشی SEMسری Quanta دارای یک رابط کاربری آسان برای استفاده و انعطاف پذیر با توابع برای به حداکثر رساندن بهره وری و جمع آوری داده ها می باشد. تکنولوژی SmartSCAN محصولات میکروسکوپ الکترون روبشی SEM مدل Quanta 650استراتژی هوشمند اسکن برای کاهش نویز و ارائه اطلاعات بهتر است. گزینه های جدید اضافی مانند کاهش سرعت پرتو برای بهبود عملکرد با ولتاژ کم ، حرکت میکروسکوپ جهت تصویربرداری Nav-Cam و آشکارسازهای جدید ، انعطاف پذیری بیشتری را برای سری Quanta ارائه می دهد. کارایی بالاتر میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل Quanta 650 ارزش بیشتری برای سرمایه گذاری شما را ارائه می دهد. |
 |
مشخصات فنی میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل Quanta 650
اپتیک الکترونی میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل Quanta 650
- ستون SEM انتشار حرارتی با عملکرد بالا با منبع آند دوگانه
- دریچه شیئی ثابت برای سهولت عملیات
- هندسه لنز 45 درجه ای با پمپاژ از طریق لنز و دریچه شیئی گرم
- حداکثر عرض میدان افقی: 6.5 میلیمتر در فاصله کاری آنالیز (10 میلیمتر)؛ 24.3 میلی متر در 65 میلیمتری، 150 میلی متر با حالت مونتاژ
- ولتاژ شتاب: 200 ولت تا 30 کیلو ولت
- جریان پروب: تا μA 2 ، قابل تنظیم به طور مداوم
- بزرگنمایی: 6 تا 1000000 برابر
رزولوشن الکترونی میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل Quanta 650
خلاء زیاد
3.0 nm at 30 kV (SE)
4.0 nm at 30 kV (BSE)
8.0 nm at 3 kV (SE)
خلاء زیاد با کاهش سرعت پرتو
7.0 nm at 3 kV (BD mode + DBS)
خلاءکم
3.0 nm at 30 kV (SE)
4.0 nm at 30 kV (BSE)
10 nm at 3 kV (SE)
حالت خلاءگسترش یافته (ESEM)
3.0 nm at 30 kV (SE)
آشکارسازهای میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل Quanta 650
- Everhart Thornley SED (آشکارساز الکترونی ثانویه)
- میدان بزرگ خلاء کم SED (LFD)
- SEDگازی (GSED) (در حالت ESEM مورد استفاده قرار می گیرد)
- دوربین IR برای مشاهده نمونه در محفظه
- حسگر BSE برای فشار بالا، مورد استفاده در حالت (ESEM)
- BSED جهت دار می تواند در حالت الکترون بازگشتی (CBS) یا در حالت الکترون بازگشتی زاویه دار (ABS) مورد استفاده قرار گیرد.
- اندازه گیری جریان پرتو الکترونی
- BSEDتحلیلی گاز (GAD)
- Scintillator BSED/CLD
- آشکارساز STEM-I جمع شونده STEM-III
- دوربین نوری Nav-Cam برای انتقال نمونه
- کاتودولومینسانس
- ESEM-GAD
- EDS
- WDS
- EBSD
سیستم خلاء میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل Quanta 650
1 x 250 l/s TMP (turbomolecular pump), 1 x PVP
- طول مسیر پرتو گاز : 10 میلی متر یا 2 میلیمتر
- ارتقاء اختیاری به PVP
- خلاء محفظه (زیاد) <6e-4 Pa
- خلاء محفظه (کم) <Pa 10 تا 130 Pa
- خلاء > ESEM Pa - 10 Pa 2600
- زمان تخلیه: ≤ 150 ثانیه تا خلاء زیاد و 270 ثانیه تا ESEM
محفظه میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل Quanta 650
- اندازه 379 میلی متر چپ به راست
- 10 میلی متر WD تحلیلی
- 10 پورت
- زاویه EDS برابر با 35 درجه
صفحه قرارگیری نمونه میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل Quanta 250
- X-Y = 150 mm
- Z = 65 mm
- Z = 93.5 mm وضوح
- T = - 5° to + 70° (manual)
- R = 360° continuous
- Repeatability: 2 µm (x and y)
- شیب-اکولایزر در ارتفاع تحلیلی (29.3 میلی متر)
- حرکات x و y در سطح شیب قرار دارند.
- کاهش سرعت پرتو (لنز کاتدی / نمونه)
نگهدارنده نمونه میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل Quanta 650
- نگهدارنده چند نمونه ای
- ویفر های مختلف و نگدارنده سفارشی (های) موجود در صورت درخواست
کنترل سیستم میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل Quanta 650
- رابط کاربری گرافیکی با ویندوز ، صفحه کلید، موس نوری
- یک / دو ، صفحه نمایش LCD
- یک صفحه کلید و ماوس
- Joystick
- رابط کاربری دستی
پردازنده تصویر میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل Quanta 650
- حداکثر 4096 × 3536 پیکسل (~ 14 مگابایت)
- نوع فایل : TIFF (8, 16, or 24-bit RGB), BMP or JPEG
- سیگنال زنده یا استاتیک مخلوط رنگی و یا سیاه و سفید
- 256 قاب متوسط یا ادغام شده
- هیستوگرام تصویر و نرم افزار اندازه گیری
پشتیبانی از ویژگی های نرم افزار میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل Quanta 650
- استراتژی اسکن SmartSCAN و DCFI
- جهت یابی اتوماتیک
- کنترل دما SW با صفحه نگهدارنده نمونه FEI داغ یا سرد آپشن
- تهیه تصویر با فاصله 1 تا 4
- عملکرد ذخیره عکس چندگانه
- نمایش تصویر در یک مانیتور جداگانه اجازه تصویربرداری از روی صفحه نمایش دو برابر از آشکارسازهای مختلف را می دهد.
آپشن های سیستم میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل Quanta 650
- کاهش سرعت پرتو
- رابط کاربری دستی
- پشتیبانی از کامپیوتر (از جمله مانیتور 19 اینچی دوم)
- SW کنترل شده توسط Peltier صفحه نگهدارنده نمونه خنک شده
- SW کنترل شده سیستم WetSTEM SM
- SW کنترل شده با صفحه نگهدارنده نمونه گرم شونده تا درجه حرارت 1000 درجه سانتیگراد
- SW کنترل شده با صفحه نگهدارنده نمونه گرم شونده تا درجه حرارت 1400 درجه سانتی گراد
- Cryocleaner
- Joystick
- SW کنترل از راه دور
- جریان سنج نمونه
- چاپگر تصویری
- کیت نگهدارنده نمونه
- محفظه آکوستیک برای پمپ خلاء
- 7 یا 52 پین تغذیه الکتریکی
- پرتو الکترواستاتیک
- کیت تکمیل WDS
- کیت پمپ پیش خلاء اسکرول بدون روغن
- کیت گاز کمکی (برای گازها به جای آب)
|
لوازم جانبی آپشن میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل Quanta 650
- EDS
- WDS
- EBSD
- Cryo stage
- Cathodoluminescence
- Sample current detector
- Nanomanipulators
- Lithography system
- CAD navigation
- Electrical probing
- Raman
مستند سازی و پشتیبانی میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل Quanta 650
- کمک آنلاین
- CD آموزش Quanta Getting Started
- RAPID فعال (پشتیبانی از راه دور تشخیصی)
- عضویت رایگان در باشگاه کاربری FEI ESEM
آپشن های نرم افزاری میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مدل Quanta 650
- کنترل از راه دور / مشاهده نرم افزار
- نرم افزار تجزیه و تحلیل تصویر
- نرم افزار آرشیو داده با استفاده از وب
- نرم افزار اندازه گیری ارتفاع / اندازه گیری زبری
|
 |